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泡生法藍寶石晶體生長爐
編號:SN20150801140932539
類別:泡生法藍寶石晶體生長爐
  • 產品概述
  • 規格參數
  • 服務支持

    設備用途

    LED襯底,窗口材料,手機屏,軍工領域,智能設備,大規模集成電路SOI 和SOS等等。


    設備原理

    泡生法:在真空環境中,通過電阻加熱將三氧化二鋁原料熔化,通過籽晶引導,采用精密上稱重技術進行微量提拉生長優質光學級藍寶石單晶。

    產品特點:
    1、PLC全自動操作系統
    X2技術平臺,晶體生長過程(除引晶外)實現全自動化智能操作,生長條件可高度復制;能抗干擾自動調節功率,保證晶體穩定性,實現人機界面控制系統與工藝緊密結合。
    2、精密提拉旋轉機構
    專利設計,控制精度高,傳動平穩,抗干擾能力強,利于晶體生長。
    3、高穩定性熱場
    精確的溫度曲線控制,先進模擬軟件設計,保證原材料純度,熱變形小,使用壽命長。
    4、高效水冷系統
    先進的設計制造工藝,爐體冷卻效果好,震動小。
    5、PAC全自動操作程序
    觸摸屏操作,人機界面控制系統與工藝緊密結合,可遠程控制,信息存儲、分析、列表。

    產品優勢:
    1、縮短生長周期,比同類產品周期縮短2-3天。
    2、優異的晶體質量,達到光學等級以上。
    3、低能耗
    設備及熱場穩定性高,重復型號,損耗小,且設備能耗低于同類產品20%以上。
    4、高取材率
    成熟的設備制造技術和長晶工藝,確保晶體取材率≥70%。
    5、研發優勢
    規?;难邪l基地,及時進行技術驗證及創新,確保產品及技術的成熟性和前沿性。
    6、技術培訓
    擁有研發基地,可驗證長晶,為客戶提供專業技術培訓、設備操作和工藝指導。
    7、安全性高
    配置真空安全保護裝置,安全性能更高。


    高效的熱場模擬與設計


     

    大幅降低能耗


     

    80kg級長晶成本構成


     

    120kg級長晶成本構成

     

    技術指標: 

     

    TDR85K-II 

    TDR120K

    晶體生長周期

    18-20

    20-25

    晶體質量

    X射線雙晶搖擺半峰寬<10”;平均位錯密度為1×103/cm2

    晶體最大直徑

    300mm

    350mm

    設備能耗

    2萬度

    3萬度

    設備損耗

    主要部件使用壽命2年以上

    取材率(2吋)

    3200mm

    5800mm

    長晶成本

    ¥3.46萬元/

    ¥5.38萬元/

    晶棒成本(2吋)

    $1.77/mm

    $1.52/mm

     

    高取材率

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    晶體規格

    80kg級(φmax300×H350mm 

    120kg級(φmax350×H400mm 

    4"晶棒

     

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